沈天慧（1923.4- 2011.1）浙江嘉善人，半导体化学家。1949年毕业于上海大同大学化工系，1957-1959年留学苏联，进修半导体材料。上海交通大学信息存储研究中心教授、校学术委员会委员。曾在中国科学院长春应用化学研究所开展用三氯氢硅法制纯硅的研究工作。1966-1986年在陕西省临潼县航天工业部七七一研究所，从事半导体材料及大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年至今，在上海交通大学信息存储研究中心从事磁头磁盘的研制工作。

1980年当选为中国科学院院士（学部委员）